ULVAC 単相100Vダイアフラム型ドライ真空ポンプ

特徴

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。

吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。

排気速度(L/min)50/60Hz:40/46到達圧力(Pa):3.3×10［［の3乗］］吸気口径(mm):12電源(V):単相100騒音値(dB):-全幅×全長×全高(mm):140×288×202寸法(mm):140×288×202

一台から異電圧に別作対応(DAL-181D/DAL-361Sは除く)到達圧力(KPa):13.3吸排気管径(mm):O.D.φ12×I.D.φ8(G1/4)最大寸法(mm):140(W)×288(L)×202(H)

ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にするシステムです。吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

仕様