マスフローコントローラー MC-10RC-4SWLR4A0A0-05

【画像はイメージです】
【納期について】本商品は受注生産品です。ご注文後メーカーにて製作（出荷検査）を致します。
メーカーの生産工数により変動はございますが、注文後おおむね1ヵ月(休業日除く)後の発送となります。
ご注文後のキャンセルは一切出来ませんので納期でお急ぎの場合は、ご注文前に必ず弊社にお問い合わせください。

マスフローコントローラ MC-10シリーズ MC-10RC-4SWLR4A0A0-05の特長

• 幅広い流量域をカバーしながら、低価格・短納期を実現しました。
• 周囲温度補償方式サーマルセンサを採用し、センサ温度を低温にできるため長期安定性に優れています。
• ガス種、最大流量を変更できるバリアブルレンジ機能搭載
• 流量レンジ(N2、at0、1atm)：4～500mL/min
• 変更可能最大流量レンジ：200～500mL/min
• 対象ガス：非腐食性ガス(N2、O2、Air、H2、Ar、He、CO2、CH4、C3H8など)
• 最小制御流量：フルスケールの2％
• 測定精度：±1.0％F.S.
• 応答時間：1 sec以下
• 再現性：±0.2％F.S.
• 必要差圧：50～300kPaD
• 耐圧：1MPa
• 材質：接ガス部：SUS316L、PTFE、磁性ステンレス、シール材：フッ素ゴム
• 継手：1/4SWL相当
• 電源：±15VDC(+15V 100mA、-15V 150mA)

※継手が1/4VCR相当、Rc1/4タイプもございます。お問合せ下さい
※電源ユニットは±15V 入出力0～5Vの物を別途ご用意下さい。専用電源もございます
※ご注文時に出荷設定のガス種・フルスケール流量を必ずご指定下さい